DGK24” RF PECVD für den skandinavischen DTI

Das größte skandinavische Forschungszentrum mit 900 Ingenieuren und Wissenschaftlern, das DTI (Danish Teknological Institute) in Taastrup, Kopenhagen - Dänemark, hat eine neue Kolzer-Anlage für den PECVD-Prozess in Betrieb genommen.

Das System wird in F&E und der Produktion kleinformatiger Komponenten mit einer neuen, flexiblen, abweisenden Beschichtung aus Silikonbasis übernommen und für den PECVD-Prozess mit einem DGK24" ausgestattet.